Bhadra™立式高温氧化炉HBO150

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产品摘要
Bhadra™立式高温氧化炉HBO150由拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司提供。
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产品参数
型号
Bhadra™立式高温氧化炉HBO150
产品详情

Bhadra™立式高温氧化炉HBO150

功能

1.高温氧化工艺

2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艺

技术参数

适配晶圆尺寸:4,6寸


适用衬底材料:碳化硅


适用领域:功率半导体、衬底材料、科研