碳化硅（SiC）外延炉

产品型号：EPIREVO S6

EPIREVO S6是日本株式会社东芝的子公司纽富莱（NuFlare）的主要产品之一。采用全自动化的单片双腔设计，利用垂直气流和高速旋转的生产工艺，将月产能提高到了1800片以上的可能（4-6英寸，10微米标准）。垂直腔体的设计以及高速旋转生长的原理可使产品全体缺陷控制在0.01cm2（EDD）以内，清扫维护（PM）也达到了可连续生长2000微米以上，为目前碳化硅外延量产化的**设备。尚且，本外延炉也已经具备了简易更换配件即可对应8英寸外延的可能。产能更大、质量更好、性价比更高是产品的设计宗旨。