水平双腔外延炉
面议
产品摘要
水平双腔外延炉由杭州晶驰机电科技有限公司提供。
当前价格信息以面议或企业沟通为准。
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产品参数
型号
水平双腔外延炉
范围
面议
应用行业
广泛
产品详情
产品详情
1、水平双腔布置,硬件成本低于两台单腔外延炉;
2、双腔工艺和维护独立,实现不停机连续生产；
3、兼容4/6寸晶圆外延生长,外延层质量优异;
4、全自动上下料，释放人工成本;
