单腔立式外延炉
面议
产品摘要
单腔立式外延炉由杭州晶驰机电科技有限公司提供。
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产品参数
型号
单腔立式外延炉
产品详情
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1、相较现有立式外延炉有更低的硬件成本,更小的占地面积;
2、兼容4/6寸晶圆外延生长,成膜质量好,可实现厚外延层快速生长；
3、更长的维护周期,更低的耗材成本；
