氧化镓衬底片
面议
产品摘要
氧化镓衬底片由杭州富加镓业科技有限公司提供。
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产品参数
型号
10*10.5氧化镓衬底片
产品详情
晶片产品参数
电学参数
UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：绝缘≥1×1010 Ω·cm
晶面：(100)
双晶摇摆半高宽：≤150”
位错密度：<1×105 cm-2
尺寸：10 mm×10.5 mm×0.5 mm
参考边：长边为[010]方向
加工指标
晶面偏差：<±0.5°；厚度: 0.5 mm±0.05 mm；表面抛光：单面抛光；表面粗糙度：抛光面 Ra<0.5 nm
产品外形示意图
