4英寸氧化镓衬底片

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产品摘要
4英寸氧化镓衬底片由杭州富加镓业科技有限公司提供。
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产品参数
型号
4英寸氧化镓衬底片
产品详情

晶圆产品参数

掺杂:Sn

导电性:n

晶面:(100)

双晶摇摆半高宽:≤250”

载流子浓度:≥1×1018 cm-3

位错密度:<1×105 cm-2

目前参考尺寸:4 inch

参考边:[010]方向

加工指标:晶面偏差:<±1°;直径:100.0 mm±0.5 mm;厚 度: 0.65 mm ± 0.02 mm;单面抛光,Ra<1 nm

产品外形示意图