自动晶圆磨边倒角机

全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆、8″-12″晶圆

l 全自动 12″, 4″～ 8″, 2″～ 6″ 晶圆磨边倒角

l Si, SiC, GaAs, LT, LN, GaN, 蓝宝石等适用

l 可进行 T、R、TT、RR、TR等边形倒角

l 适用于一次倒角及二次倒角加工

l 可自动进行粗研及精研加工

l 可选配晶圆边缘抛光功能

l 配备晶圆冲洗及干燥功能

l 具备 SECS/GEM 通讯功能

l 可与天车等 AMHS 系统对接