单面CMP抛光机深圳市梦启半导体装备有限公司

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单面CMP抛光机

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深圳市梦启半导体装备有限公司

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产品摘要

单面CMP抛光机由深圳市梦启半导体装备有限公司提供。

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产品参数

型号

单面CMP抛光机

产品详情

参数名称		单位	DL-855/4P-CMP
主电源		V	三相 380
主电机功率		KW	15
主电机转速		RPM	0~85
上盘驱动电机转速		RPM	0~70
抛光盘尺寸		mm	855
加工尺寸		寸	2-8
工作工位		组	4
工件盘尺寸		mm	Φ305x15
单工位压力		Kg	20~300
抛光液流速		L/min	15（可调）
主盘温度检测		度	±5
设备尺寸（W x D x H）		mm	1200x1650x2250
设备重量		Kg	约2450