单面CMP抛光机

面议
产品摘要
单面CMP抛光机由深圳市梦启半导体装备有限公司提供。
当前价格信息以面议或企业沟通为准。
当前页面提供 2 组参数信息,可用于快速了解规格。
产品参数
型号
单面CMP抛光机
范围
6-200mm
产品详情


参数名称单位DL-855/4P-CMP
主电源V三相 380
主电机功率KW15
主电机转速RPM0~85
上盘驱动电机转速RPM0~70
抛光盘尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盘尺寸
mmΦ305x15
单工位压力Kg20~300
抛光液流速L/min15(可调)
主盘温度检测±5
设备尺寸(W x D x H)mm1200x1650x2250
设备重量Kg约2450