Solid SiC系列

面议
产品摘要
Solid SiC系列由湖南德智新材料股份有限公司提供。
当前价格信息以面议或企业沟通为准。
当前页面提供 3 组参数信息,可用于快速了解规格。
产品参数
型号
Solid SiC系列
范围
液体
应用行业
锅炉加热、烤漆、木材、干燥剂
产品详情

德智新材产品涵盖碳基、陶瓷及其高端材料,应用于半导体芯片制造各个环节,如单晶生长、外延、刻蚀、扩散、CVD、PVD等。产品性能媲美海外SiC耗材先进友商,助力高端制造国产化。

 

 

应用场景

晶圆制造

• 外延

• 扩散

• 刻蚀

 

实现技术

• 精密加工(石墨)

• 低压化学气相沉积  (LPCVD)

• 精密加工(β-SiC)


 

性能要求

• 致密度高

• 电阻率可控

• 高纯度

• 高导热

• 耐腐蚀


 

应用领域

• LED光电

• 集成电路

• 第三代半导体