CVD@SiC涂层系列

面议
产品摘要
CVD@SiC涂层系列由湖南德智新材料股份有限公司提供。
当前价格信息以面议或企业沟通为准。
当前页面提供 1 组参数信息,可用于快速了解规格。
产品参数
型号
CVD@SiC涂层系列
产品详情

产品性能:

耐高温

耐高压

耐磨

使用寿命高

耐腐蚀性

纯净度高

 

材料及特性

• 基材:等静压石墨(厚度>0.5 mm)

• 涂层:涂层:β-SiC(厚度<300 μm)

 

应用场景

晶圆制造

• 外延

• 扩散


 

实现技术

• 精密加工(石墨)

• 低压化学气相沉积


 

性能要求

• 致密度高

• 结合力强

• 高纯度

• 高导热

• 耐腐蚀

• 抗开裂

 

应用领域

• LED光电

• 集成电路

• 第三代半导体