CVD@TaC涂层系列

面议
产品摘要
CVD@TaC涂层系列由湖南德智新材料股份有限公司提供。
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产品参数
型号
CVD@TaC涂层系列
范围
200-5000目
应用行业
抗结剂、脱膜剂、乳化剂
产品详情

材料及特性

• 基材:等静压石墨(厚度>0.5 mm)

• 涂层:TaC(厚度<300 μm)

 

应用场景

晶圆制造

• 单晶生长

• 外延


 

实现技术

• 精密加工(石墨)

• 低压化学气相沉积(LPCVD)