EVG 560晶圆键合系统

面议
产品摘要
EVG 560晶圆键合系统由亚科电子(香港)有限公司提供。
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产品参数
型号
EVG 560晶圆键合系统
产品详情

产品简介:

EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。

主要特点及参数:

·**支持12英寸(300mm)晶圆

·*多兼容4个键合腔室

·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置

·拥有独立的底部冷却系统

产品简介:

EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统。

主要特点及参数:

·**支持12英寸(300mm)晶圆

·*多兼容4个键合腔室

·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置

·拥有独立的底部冷却系统