EVG 850LT SOI晶圆键合系统

面议
产品摘要
EVG 850LT SOI晶圆键合系统由亚科电子(香港)有限公司提供。
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产品参数
型号
EVG 850LT SOI晶圆键合系统
范围
机械行业
应用行业
各种行业
产品详情


EVG 850LT是一款专门用于SOI晶圆的全自动键合系统,相比EVG850增加了低温等离子体激活模块,提高键合质量。