2.6M高单机镀膜设备（3维转架）

1：产品优势

（1）可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合；

（2）适合制备碳膜、陶瓷和金属厚膜；

（3）适合高温、长时间工艺模式；

2：应用领域

（1）刀具、模具；

（2）汽车零部件减磨和耐腐蚀；

（3）高端轴承涂层；

（4)高端双极板涂层制备。

3：技术参数

（1）PVD兼容PECVD工作模式。单室装炉量50-100片，1炉/4小时；半连续线模式，1片/分钟。

（2）技术指标：1.5MPa，接触电阻小于3mΩ；300mV 80℃腐蚀电流0.2μA。

每炉100片，4小时/炉。

工作产量：12万片/年以上。

三、商业模式：

1：OEM代工涂层加工；

2：设备定制和工艺支持；

3：合资办厂。